金融界2024年12月20日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中芯北方集成电路制作（北京）有限公司获得一项名为“一种晶圆传送设备”的专利，授权公告号 CN 222168354 U，请求日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显现，本请求供给一种晶圆传送设备，用于在真空环境下传送晶圆，包含：承托件，所述承托件包含一体衔接的承载部和柄部，所述承载部用于承载晶圆，且所述承载部设置有多个衔接孔；以及所述柄部用于衔接动力设备；支撑件，与所述承载部可拆卸式衔接，所述支撑件的第一端刺进所述衔接孔内以及所述支撑件第二端的端面被装备与所述晶圆触摸。当所述晶圆传送设备与晶圆触摸的区域产生磨损时，可以终究靠快速替换的方法更新，且无需对所述晶圆传送设备进行校准。
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